Pada umumnya, proses sol–gel melibatkan peralihan dari sistem larutan cecair iaitu “sol” ke fasa pepejal yang disebut “gel”. Dalam kajian ini filem nipis Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST) telah dihasilkan dengan menggunakan kaedah sol-gel menggunakan Ba(C4H6O4), Sr(CH3CO2)4 dan (Ti(OCHCH3)2)4. Filem yang terhasil disepuhlindap pada suhu 6000C, 6500C dan 7000C selama 1 jam dalam persekitaran udara biasa. Mikrostruktur, morfologi dan komposisi unsur filem tersepuhlindap ditentukan menggunakan XRD, AFM dan EDS. Dari hasil pencirian diperoleh semakin tinggi suhu sepuhlindap penghabluran filem dan kekasaran permukaan semakin meningkat. Nisbah Ba/Sr berkurangan dengan kenaikan suhu sepuhlindap.